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Halbleiterindustrie - Oberflächen

  • Kleinste Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche eines Wafers führen zu Qualitätsproblemen. Darum sind Oberflächeninspektionen z.B. von Trägern im Polierprozess unverzichtbar. Eine Fehlerklassifikation ermöglicht die Aussage nach der Fehlerart, um gezielt den Prozeß zu verbessern.
  • Das GPPVision-Modul Surface dient der Detektion und Klassifikation von Strukturen und Unebenheiten unter 1µm Größe. Seit dieses Inspektionssystem Im Polierprozess integriert wurde, werden nur noch Trägerplatten mit homogener Kittschicht eingesetzt, was zur einer wesentlichen Qualitätssteigerung führte.