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Halbleiterindustrie - Profilmessung

  • Für die Herstellung von Silizium-Wafern werden im Polierprozess Läuferscheiben eingesetzt. Die Form der Insert Carrier zur Aufnahme der Wafer hat einen großen Einfluss auf deren Qualität.
  • Mit dem GPP Laser-Perthometer LPM 800 ist es möglich, an beliebigen Stellen einer Läuferscheibe Höhenprofile der leicht transparenten Inserts aufzunehmen. Dabei werden Genauigkeiten von 0,1µm in der Höhe bei Schrittweiten ab 1µm über die gesamte Fläche von 800x800mm erzielt.