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Rauigkeit
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Halbleiterindustrie - Rauigkeit

  • Ein wichtiger Parameter technischer Oberflächen ist deren Rauigkeit. Dafür werden oftmals Perthometer mit taktilen Messspitzen eingesetzt.
  • Für sensible Oberflächen, wie z.B. Silizium-Wafer, sind berührungslose Messmethoden angebracht. Eine gute Lösung hierfür ist das GPP Laser-Perthometer LPM 800.