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wafer edge review
Produkte - Waferkantenprüfgerät

  • Dieses Kantenprüfgerät erkennt insbesondere umlaufende Fehler wie Unebenheiten, Erhebungen und Riefen, wie sie beispielsweise im Polierprozess entstehen können.
  • Die Wafer werden in der Transporthorde geprüft. Da berührungsfreie Prüfverfahren eingesetzt werden, ist praktisch keine Kontaminationsgefahr der Wafer vorhanden.
  • Weitere Merkmale:
    • Prüfung auf umlaufende Fehler
    • Automatischer Prüfablauf
    • Kein spezielles Waferhandling; Prüfung in der Transporthorde
    • Frei parametrierbare Waferpositionen in Horden
    • Berührungslose Prüfverfahren
    • Profilvermessung der Waferkanten, Genauigkeit: ±0,1μm
    • Kalibrierung nicht erforderlich
    • Condition monitoring
    • Einsatz in Reinraumklasse 1000
  • Um weitere Informationen zu erhalten, benutzen Sie bitte das Kontaktformular oder senden Sie uns eine e-mail