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wafer edge testing
Halbleiterindustrie - Waferkanteninspektion

  • Das Waferkantenprüfgerät erkennt insbesondere umlaufende Fehler wie Unebenheiten, Erhebungen und Riefen, wie sie beispielsweise im Polierprozess entstehen können.
  • Features:
    • Kein spezielles Waferhandling
    • Prüfung in Transporthorde
    • Berührungslose Prüfverfahren
    • Automatische Bild- und Fehlerspeicherung
    • Rezeptverwaltung, Losverfolgung
    • Automatische Horden-Identifikation
    • SECS/GEM-Schnittstelle
    • Remote-network-access